图形怎么精准量尺寸
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...图形的方法、装置、设备、介质和程序产品专利,可以实现更高精确度...确定用于评估工艺窗口或成像质量的工艺参数的仿真值。该方法包括：至少基于工艺参数的仿真值，从多个晶圆图形的尺寸中确定目标尺寸。该方法进一步包括：将电路版图中的版图图形设置为具有目标尺寸。以此方式，可以实现更高精确度和更广覆盖程度的版图图形重定义。本文源自金还有呢？
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...方法专利,提高了沟槽的侧壁垂直度,利于获取特征尺寸较精准的沟槽氧化硅层和图形化的光刻胶层；执行第一刻蚀工艺，以图形化的光刻胶层为掩模依次刻蚀氧化硅层和氧化铝层，以形成贯穿氧化硅层和氧化铝层的好了吧！ 执行第二修复工艺以使沟槽的侧壁垂直；以及，去除氧化铝层。本发明提高了沟槽的侧壁垂直度，利于获取特征尺寸较精准的沟槽。本文源自金融好了吧！
长鑫存储申请光罩及制备光罩的方法专利,提高光罩制备的精确度所述制备光罩的方法包括：获取当前光罩中位于非曝光区域的测试图形集中每一测试图形的关键尺寸的量测值以及关键尺寸的设计值；其中，所述当前光罩是基于第一设计数据文件制备得到的；对比每一所述测试图形的关键尺寸的量测值和关键尺寸的设计值，得到第一对比结果；基于所述第一还有呢？
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